SP25连续扫描测头

安装

雷尼绍自动吸附：PH10M、PH10MQ或PH6M
 可安装在自动吸附加长杆上

适合的接口

可以是：UCC控制器
 或：用于未安装UCC控制器的机器的AC3计算机接口卡

测头属性

三轴模拟测量    (X, Y, Z)
 在XY平面的旋转运动，Z方向有平移
 SM25-5：在三个轴XYZ方向均有平面平移

测量范围

在X、Y和Z方向为±0.5 mm
 SM25-5：±0.3 mm

超程范围

在X和Y方向为±2.0 mm
 +Z方向为1.7 mm
 –Z方向为1.2 mm
 SM25-5：
 ±X, ±Y = 0.95 mm
 +Z = 1.0 mm
 -Z = 1.1 mm

碰撞保护

X, Y, –Z — 模块或测针架折断
 +Z — 内置缓冲块设计

分辨率

使用UCC2子卡或AC3接口卡时<    0.1 µm

弹簧刚性

标称值为0.2    N/mm到0.6 N/mm，取决于测针长度

减振

单个粘性流体减振器
 SM25-5：两个粘性流体减振器

电源

测头为+12 V    (±5%)、–12 V (+10% / –8%)、+5 V (+10% /    –13%) 直流电

输出    (X,Y,Z)

非线性及非正交模拟输出 — 速率、增益和分辨率不固定
 SP25M要求使用非线性三次多项式标定。

测针系列